四川天壹環保科技有限公司為您淺析四川廢氣處理的技術方案。

一）廢氣分析

1、制絨工藝廢氣分析

在制絨工藝過程中，廢氣源主要為制絨及清洗設備，廢氣種類因工藝不同而有區別，主要廢氣為氮氧化物、氟化氫氣體（多晶工藝）；堿蒸汽及醇類（單晶）。

2、擴散工藝廢氣分析

擴散工藝涉及廢氣排放的設備主要是：擴散爐、石英管清洗機、石墨舟清洗機等。擴散爐排出的廢氣是酸性廢氣及熱廢氣，本項目酸性廢氣主要為含氯廢氣，如氯氣等。石英管清洗機、石墨舟清洗機產生的廢氣主要為含氟化氫及氯化氫成分的酸性氣體。

3、鍍膜工藝廢氣分析

鍍膜工藝涉及的主要設備為去磷硅玻璃清洗機及PECVD等。去磷硅玻璃清洗機產生的廢氣主要成分為氟化氫及氯化氫等；PECVD尾氣主要包含硅烷、氨氣等。

4、印刷工藝廢氣分析

印刷工藝涉及的主要設備為印刷機和燒結爐，產生的廢氣主要是一些以脂類和醇類廢氣為主的有機廢氣。

（二）廢氣抽風量設計及設備選擇

根據上述廢氣分析，太陽能電池生產線產生的廢氣以處理方式來分可分為三類：酸堿廢氣、硅烷及氨氣等特氣、有機廢氣。

1、酸堿廢氣凈化系統  本項目涉及的酸堿廢氣來自制絨清洗機、擴散爐、去磷硅玻璃清洗機、石英管清洗機及石墨舟清洗機等，主要成分為HF/HCl/Cl2/堿蒸汽等，這些廢氣均可溶于水，可以采用酸堿中和的方式進行廢氣處理。

2、有機廢氣凈化系統  本項目有機廢氣以含脂類、醇類等揮發物為主，這些有機物微溶于水，不能用常規的洗滌法處理。根據這些特點，本項目有機廢氣采用我公司研制生產的活性炭纖維有機廢氣凈化器進行吸附凈化。

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