等離子體法是20世紀70年代發展起來的同時脫硫脫硝技術，被國際上認為是最有前途的新一代煙氣脫硫技術。它主要是利用高能電子使煙氣中的SO2，NOX，H2O，O2 等分子被激活， 電離甚至裂解，產生大量的離子及自由基等活性粒子， 由于強氧化性使SO， NOX 被氧化，在注入氨的情況下，生成硫酸銨和硝酸銨化肥。根據高能電子的來源，可分為電子束照射法和脈沖電暈等離子法。

電子束照射法是靠電子加速器產生高能電子，使煙氣中的氧和水蒸氣等激發轉化成氧化能力強的自由基，與煙氣中的SOX, NOX 反應生成硫酸和硝酸，再和加入的氨反應產生硫酸銨和硝酸銨化肥。可以同時高效地脫硫脫銷，但是投資和運行費用非常高，技術含量高。

脈沖電暈等離子法是靠脈沖高壓電源在普通反應器中形成等離子體，從而產生高能電子，國內外許多研究人員對其進行大量實驗研究工作。目前，該技術已進入大規模工業試驗階段，其優點，設備簡單、操作簡便、投資僅是電子束照射法的60% ,因此,成為國際上干法脫硫脫硝的研究前沿。